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针对污染源的控制方法
1、控制工艺设备及工艺的产尘
洁净室内的工艺设备应选料精良，光洁耐磨，那些转动、滑动部位格外重要，要尽可能地减少磨损及产尘。对于那些产尘的工艺过程要尽可能地将其封闭或设置围挡，并辅以排风，形成局部范围相对于洁净室的负压，以限制污染物向洁净室其他区域扩散。对室内的机器设备定期地进行清洁、擦拭是必要的制度，也是减少积尘二次飞扬的有效措施。
2、不同级别相邻洁净室间的压差
防止从相邻的洁净度较低区域向洁净室传播污染的主要方法是：维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况，不同级别相邻房间的正压值约为5Pa-10Pa。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差，目的是当房间门处于关闭情况时，通过缝隙的气流流向是由高级别洁净室流向低级别洁净室、由低级别洁净室流向走廊和服务区，再流向室外。
这样就可减少由室外向服务区域，服务区域向低级别洁净室，低级别洁净室向高级别洁净室传播空气中的悬浮污染物。正压值并非越大越好，许多理论研究和实践都证明，人员、物料通过门时，即便门两侧关门压差高达50Pa~60Pa，仍难**避免随人员、物料向内移动时的携带气流将污染带入室内。特别是当门两侧存在温度差时，门敞开后，即便无人走动，在开口断面部分面积上也存在逆向气流，带入空气的污染物。
此外，过高的正压差还会造成洁净室的门既难开启又难关严，门缝气流造成哨声噪声，以及因气流外溢过量而补风量增加，浪费能源和加重各级过滤器的负担。
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